Trong trong hệ thống chân không, suy giảm hiệu suất là hiện tượng thường gặp, đặc biệt là những thiết bị dùng cho sản xuất, theo thời gian, chúng gần như không thể tránh khỏi vấn đề giảm độ chân không, và rò rỉ là nguyên nhân phổ biến gây ra hiện tượng này.

Tầm quan trọng của kiểm tra rò rỉ định kỳ

    Rò rỉ lớn thường dễ dàng được phát hiện, như tốc độ giảm áp suất của khoang chân không bất thường hoặc áp suất cực hạn cao hơn đáng kể so với giá trị bình thường. Tuy nhiên, rò rỉ nhỏ có thể khó phát hiện, bởi vì máy bơm chân không có thể dễ dàng xử lý khí rò rỉ, khiến cho đoạn đọc của đồng hồ chân không vẫn nằm trong phạm vi bình thường. Mặc dù vậy, rò rỉ nhỏ vẫn có thể dẫn vào khí không mong muốn (như ôxy), những khí này có thể ảnh hưởng nghiêm trọng đến một số quy trình công nghệ (như quy trình phủ màng). Vì vậy, dù áp suất của hệ thống chân không có giảm rõ ràng hay không, kiểm tra rò rỉ định kỳ là cần thiết.

Phát khí và rò rỉ ảo của khoang chân không

    Nội bình hoặc ô nhiễm bám trên nội bình của khoang chân không sẽ tiếp tục thải khí trong chân không, hiện tượng này gọi là phát khí. Khi bên trong khoang chân không có không gian chết, và không gian chết này thông qua một kênh dài hẹp kết nối với bên trong khoang, khí bên trong không gian chết cũng sẽ thải ra từ từ trong chân không, tạo thành hiện tượng tương tự như phát khí hoặc rò rỉ, thường gọi là rò rỉ ảo.

Kiểm tra rò rỉ thực sự và phát khí

    Rò rỉ thực sự có thể tìm thấy bằng thiết bị kiểm rò rỉ, trong khi phát khí có thể giải quyết bằng cách làm sạch bề mặt bên trong khoang chân không. Một khi rò rỉ ảo xảy ra, rất khó phát hiện, cần tránh cấu trúc hoặc quy trình dễ gây rò rỉ ảo trong thiết kế và sản xuất, như kết nối ren (có thể sử dụng ốc trống), khe dài hẹp hoặc ống mao tinh, hàn khoang với hai bên hàn đầy đủ (đối với vỏ dày hơn, khuyến khích hàn đầy đủ ở bên chân không, hàn không đầy đủ ở bên ngoài).

Phán đoán hệ thống chân không có rò rỉ thực sự hay không

Phân tích đường thẳng áp suất giảm

    Dữ liệu lịch sử của hệ thống chân không là công cụ quý giá để hiểu hiệu suất của hệ thống chân không lớn. Nhân viên kỹ thuật có kinh nghiệm sẽ lưu giữ dữ liệu lịch sử, bằng cách so sánh đường thẳng áp suất giảm hiện tại với chu kỳ trước khi hệ thống ở trạng thái tốt, có thể nhanh chóng phán đoán nguyên nhân vấn đề. Ví dụ, nếu có rò rỉ thực sự, khí rò rỉ từ bên ngoài vào khoang sẽ khiến áp suất của khoang không giảm xuống mức thấp hơn mức cực hạn bình thường hoặc không giảm nữa hoặc giảm rất chậm, đường thẳng áp suất giảm tương tự như đường thẳng ở trên cùng trên hình. Khi có phát khí hoặc rò rỉ ảo, khí thải ra từ từ và tốc độ phát khí càng nhỏ, hệ thống có thể đạt được áp suất cực hạn ban đầu nhưng thời gian đạt được áp suất cực hạn rõ ràng chậm hơn, đường thẳng áp suất giảm tương tự như đường thẳng ở giữa trên hình.

Kiểm tra áp suất tăng

    Kiểm tra áp suất tăng cũng gọi là kiểm tra duy trì áp suất hoặc kiểm tra duy trì chân không. Dưới chân không, đóng cửa van giữa máy bơm chân không và khoang, phát khí, rò rỉ ảo hoặc rò rỉ sẽ làm tăng áp suất (thanh phán) của khoang. Chia tăng áp suất cho thời gian trôi qua, có thể tính toán tốc độ áp suất tăng của hệ thống chân không, và vẽ thành đường thẳng. Tốc độ áp suất tăng và giảm thường biểu thị bằng Pa/hr, đối với thiết bị chân không công nghiệp thông thường, trong kiểm tra duy trì áp suất, tốc độ áp suất tăng trên 1Pa/hr cần điều tra và giải quyết vấn đề, đối với một số thiết bị chân không cao, cần tốc độ áp suất tăng 0.5Pa/hr hoặc thậm chí thấp hơn. Nếu tốc độ áp suất tăng đo nhiều lần gần như không thay đổi, thì rất có thể hệ thống có rò rỉ thực sự, theo thời gian, tốc độ áp suất tăng giảm, tức là tốc độ tăng áp suất của hệ thống sẽ chậm lại theo thời gian, thì ngụ ý có rò rỉ ảo hoặc phát khí (có thể cũng có rò rỉ nhỏ).