Phương pháp chân không dựa trên việc ghi lại phương pháp thấm của khí thử qua vật thể được kiểm tra vào bình chân không được kết nối với máy phát hiện rò rỉ, có nhiều cách thức thực hiện khác nhau:
Phương pháp buồng chân không: Vật thể được kiểm tra được đổ đầy khí thử, buồng được kết nối với máy phát hiện rò rỉ.
Phương pháp buồng heli: Buồng được đổ đầy khí thử, khoang rỗng của vật thể được kiểm tra được kết nối với máy phát hiện rò rỉ.
Phương pháp buồng chân không cục bộ: Vật thể được kiểm tra được đổ đầy khí thử và trên bộ điều khiển của nó được lắp đặt buồng chân không, kết nối với máy phát hiện rò rỉ thông qua ống hút.
Phương pháp chân không nhiệt: Phương pháp buồng chân không được thực hiện trong điều kiện vật thể được kiểm tra được đun nóng đến nhiệt độ đã định.
Phương pháp quét gió dựa trên việc ghi lại khí thử vào vật thể được kiểm tra bị hút chân không, không gian bên trong được kết nối với máy dò rò rỉ, thông qua việc thổi khí thử một cách cục bộ trên bề mặt vật thể, dẫn đến việc khí chảy từ môi trường khí quyển vào bên trong. Phương pháp này áp dụng được để kiểm tra các vật thể mà khó tiêm mẫu trực tiếp.
Phương pháp mũi dò dựa trên việc phát hiện khí thử rò rỉ trong vật thể được điều khiển, ở trạng thái áp suất cao và được phát hiện bằng máy dò rò rỉ kiểu mũi dò. Phương pháp này có thể xác định chính xác vị trí rò rỉ, áp dụng được cho việc kiểm tra các cấu trúc phức tạp khác nhau.
Phương pháp ép áp dựng trên việc ghi lại khí thử rò rỉ vào vật thể được điều khiển khi vật thể được đặt trong buồng áp suất cao của khí thử.
Lưu ý:
Vật thể kiểm tra không thể tiêm mẫu: Phương pháp này áp dụng được cho các vật thể mà không thể tiêm mẫu trực tiếp.
Phương pháp thử áp suất vỏ kín: Phương pháp này cũng được gọi là "phương pháp thử áp suất vỏ kín".
Phương pháp ép áp ngoại: Phương pháp này cũng được gọi là "phương pháp ép áp ngoại".
Phương pháp hồ cá dựa trên việc ghi lại bong bóng khí thử từ vị trí rò rỉ của vật thể được kiểm tra, thoát ra ở áp suất cao và chìm vào trong chất lỏng. Phương pháp này có thể được gọi là "phương pháp ép áp chìm trong chất lỏng", áp dụng được cho các cảnh quan kiểm tra đòi hỏi độ nhạy cao.
Phương pháp hồ cá áp suất dựa trên việc ghi lại bong bóng khí thử, những bong bóng này từ rò rỉ của vật thể được điều khiển thoát ra ở áp suất thừa và chìm vào trong chất lỏng tạo ra chân không trên bề mặt chất lỏng. Khi giá trị giảm áp đủ làm nóng chất lỏng chỉ báo, và dấu hiệu rò rỉ là sự sôi cục bộ của chất lỏng, có thể đảm bảo độ nhạy cao nhất của phương pháp này. Trong trường hợp này, bong bóng khí thử thoát từ vị trí rò rỉ là mầm sôi.