Trong ngành công nghiệp bán dẫn, quá trình sản xuất các linh kiện và thành phần con có yêu cầu chính xác cực kỳ cao. Trong lĩnh vực siêu chính xác này, việc đảm bảo kiểm soát chất lượng tại từng khâu là cực kỳ quan trọng, đặc biệt là việc kiểm tra rò rỉ, có vai trò không thể thiếu trong nhiều ứng dụng then chốt như hệ thống điều khiển sân khấu và chuyển động, hệ thống làm mát, linh kiện điện tử, tấm đệm và gasket cũng như các thành phần quang học và cảm biến chiếu sáng.

Kiểm tra rò rỉ phức tạp

    Kiểm tra rò rỉ trong sản xuất bán dẫn đối mặt với nhiều thách thức, đặc biệt là trong hệ thống ** (che chắn mặt nạ) của máy chiếu quang học. Dưới đây là những thách thức chính:

    Thời gian kiểm tra dài: Yêu cầu của nhà sản xuất về tiêu chuẩn rò rỉ đòi hỏi thời gian kiểm tra dài, cần đo giảm áp suất trong một khoảng thời gian, thường kéo dài một giờ, trong thời gian này, giảm áp suất tối đa cho phép chỉ là 5-15mbar.

    Thu thập và quản lý dữ liệu: Nhà sản xuất cần một phương pháp đáng tin cậy để thu thập và phân tích dữ liệu kiểm tra, để chứng minh rằng các linh kiện của họ đáp ứng được các tiêu chuẩn nghiêm ngặt. Nhiều dữ liệu được tạo ra trong suốt chu kỳ kiểm tra dài cần được quản lý và phân tích hiệu quả.

    Tương thích vật liệu: Các kết nối vi mô bên trong máy chiếu quang học rất nhỏ, thường được làm từ nhôm. Do đó, thiết bị kiểm tra phải có thiết kế không chứa đồng, để tránh hiện tượng ăn mòn điện hóa.

Giải pháp

    Thiết bị kiểm tra rò rỉ đổi mới có thể duy trì đo lường chính xác và điều khiển áp suất ổn định trong suốt chu kỳ kiểm tra kéo dài một giờ. Thiết bị này được thiết kế đặc biệt cho ngành công nghiệp bán dẫn, có thể cung cấp kiểm tra rò rỉ không khí đáng tin cậy trong phạm vi áp suất rất nhỏ, đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của nhà sản xuất.

    Thiết bị kiểm tra rò rỉ được trang bị các tùy chọn phần mềm tiên tiến, cho phép người dùng dễ dàng quản lý và phân tích nhiều dữ liệu thu thập được trong chu kỳ kiểm tra dài, đảm bảo chất lượng và độ tin cậy của toàn bộ quá trình.

    Đặc biệt giới thiệu tùy chọn kiểm tra rò rỉ không khí không chứa đồng, loại mẫu, đặc biệt thiết kế cho ngành công nghiệp bán dẫn. Nó không chỉ cung cấp độ chính xác và độ chính xác cao cần thiết, mà còn loại bỏ nguy cơ ăn mòn điện hóa, đảm bảo tương thích an toàn giữa thiết bị kiểm tra và các kết nối vi mô trong máy chiếu quang học.

    Cố gắng cung cấp hỗ trợ kỹ thuật và dịch vụ đầy đủ cho khách hàng, đảm bảo hiệu năng tốt nhất của hệ thống kiểm tra rò rỉ của họ. Trong sản xuất bán dẫn, kiểm tra rò rỉ là điều quan trọng để đảm bảo chất lượng sản phẩm, thực hiện kiểm tra rò rỉ chính xác và đáng tin cậy, thúc đẩy sự phát triển bền vững của ngành công nghiệp bán dẫn.