Trong kỹ thuật ống dẫn khí, do ảnh hưởng của nhiều yếu tố trong quá trình thi công, một số nơi kết nối ống đạo có thể có lỗ nhỏ khó quan sát bằng mắt thường, có thể gây ra sự cố rò rỉ khi sử dụng. Trong các lĩnh vực vi điện tử như bán dẫn và mạch tích hợp điện tử, vận chuyển khí điện tử độ tinh khiết cực cao trong kỹ thuật ống dẫn khí, một sự cố rò rỉ có thể gây ảnh hưởng nghiêm trọng đến an toàn sản xuất, do đó, kiểm tra rò rỉ là cực kỳ quan trọng.

    Phương pháp kiểm tra ống dẫn khí độ tinh khiết cao bằng máy kiểm tra rò rỉ Helium Mass Spectrometer

    Trong việc kiểm tra ống dẫn khí độ tinh khiết cao, máy kiểm tra rò rỉ Helium Mass Spectrometer hoạt động bằng cách tạo chân không bên trong ống đạo, sau đó phun khí helium bên ngoài ống đạo. Nếu có rò rỉ, khí helium sẽ xâm nhập vào bên trong ống đạo và vào máy kiểm tra. Khi máy kiểm tra phát hiện khí helium, đó là dấu hiệu cho thấy ống đạo có rò rỉ. Vì phân tử khí helium cực nhỏ, có thể thấm vào các khe hở hoặc lỗ nhỏ, do đó phương pháp này đặc biệt hiệu quả trong việc kiểm tra rò rỉ nhỏ của ống dẫn khí độ tinh khiết cao.

Các bước cụ thể của phương pháp kiểm tra như sau

    Xác nhận rằng tất cả các van và van điều áp trong hệ thống đều được mở hoàn toàn.

Xác nhận rằng áp suất trong hệ thống là 0. Nếu hệ thống vẫn có áp suất dương, trước tiên cần thải khí ra khỏi hệ thống.

    Mở cửa vào của máy kiểm tra rò rỉ từ từ, bắt đầu tạo chân không cho hệ thống. Làm theo hướng dẫn sử dụng của máy kiểm tra cho đến khi đạt đến trạng thái có thể kiểm tra.

Ghi lại tỷ lệ rò rỉ helium nền của máy kiểm tra, chỉ sau khi tỷ lệ này thấp hơn 1×10-9mbar.l/s mới có thể tiến hành công việc phun khí.

    Bắt đầu kiểm tra từ đường hàn hoặc điểm kết nối gần nhất với máy kiểm tra, phun khí helium vào đường hàn hoặc điểm kết nối bằng súng phun, để khí helium ngừng lại ở đó một khoảng thời gian, sau đó kiểm tra điểm tiếp theo cho đến điểm cuối cùng.

    Nếu phát hiện chỉ số của máy kiểm tra tăng lên, đợi cho đến khi chỉ số trở lại bình thường, kiểm tra lại đường hàn hoặc điểm kết nối đó để xác nhận có thực sự rò rỉ hay không. Nếu xác nhận không phải là đường hàn hoặc điểm kết nối đó có rò rỉ, hãy kiểm tra lần lượt các điểm trước đó cho đến khi tìm thấy điểm rò rỉ.

    Kiểm tra tất cả các điểm kết nối, đánh dấu điểm hợp lệ sau khi kiểm tra hợp lệ. Sau khi phun khí helium vào tất cả các điểm kết nối, tiếp tục quan sát chỉ số của máy kiểm tra khoảng 10 phút, xác nhận rằng không có bất thường trước khi tách hệ thống khỏi máy kiểm tra.

    Nếu tỷ lệ rò rỉ helium của mỗi điểm kết nối đều thấp hơn 1×10-9mbar.l/s, thì tỷ lệ rò rỉ của hệ thống là phù hợp với yêu cầu. Người kiểm tra có thể ghi lại kết quả kiểm tra trong báo cáo kiểm tra.

    Cần chú ý rằng, trong quá trình kiểm tra ống dẫn khí độ tinh khiết cao, phải đảm bảo môi trường kiểm tra sạch sẽ và ổn định để tránh ảnh hưởng của yếu tố bên ngoài đến kết quả kiểm tra. Ngoài ra, định kỳ hiệu chuẩn và bảo trì máy kiểm tra cũng là biện pháp quan trọng để đảm bảo độ chính xác và ổn định của kiểm tra.