Thực hiện kiểm tra rò rỉ định kỳ là vô cùng quan trọng, bởi vì sự suy giảm hiệu suất của hệ thống chân không thường có liên quan mật thiết với thời gian, đặc biệt là với những thiết bị được sử dụng trong sản xuất, chúng hầu như không thể tránh khỏi sự giảm độ chân không, trong đó rò rỉ là nguyên nhân phổ biến dẫn đến hiện tượng này.

    Sự tồn tại của rò rỉ không phải lúc nào cũng dễ thấy rõ ràng. Trong một số trường hợp, mặc dù chỉ số đo chân không vẫn nằm trong phạm vi bình thường, nhưng rò rỉ nhỏ vẫn có thể dẫn đến khí không mong muốn (như oxy) xâm nhập vào, có thể gây ảnh hưởng nghiêm trọng đến các quy trình công nghệ cụ thể (như một số quy trình mạ). Do đó, việc tiến hành kiểm tra rò rỉ định kỳ là cần thiết, bất kể áp suất của hệ thống chân không có giảm rõ rệt hay không.

Phân biệt rò rỉ thực và rò rỉ giả

    Trong quá trình kiểm tra rò rỉ, phân biệt rò rỉ thực và rò rỉ giả là cực kỳ quan trọng. Rò rỉ thực là rò rỉ khí thật sự, trong khi rò rỉ giả là do ô nhiễm trên bề mặt bên trong khoang chân không giải phóng khí hoặc khí từ không gian chết được giải phóng chậm chạp gây ra. Rò rỉ thực có thể được phát hiện bằng máy dò rò rỉ, trong khi hiện tượng giải phóng khí có thể được giải quyết bằng cách làm sạch bề mặt bên trong khoang chân không. Phòng ngừa rò rỉ giả cần phải tránh các cấu trúc hoặc quy trình dễ gây ra rò rỉ giả trong giai đoạn thiết kế và sản xuất.

    Các phương pháp để đánh giá xem hệ thống chân không có rò rỉ thật bao gồm phân tích đường cong giảm áp và thử nghiệm tăng áp. Phân tích đường cong giảm áp thông qua so sánh đường cong giảm áp hiện tại với dữ liệu lịch sử có thể nhanh chóng nhận biết nguyên nhân gây ra vấn đề. Thử nghiệm tăng áp, còn được gọi là thử nghiệm giữ áp, thông qua đo tốc độ tăng áp của khoang sau khi đóng bơm và van giữa khoang và bơm ở trạng thái chân không, có thể đánh giá xem có rò rỉ hoặc hiện tượng giải phóng khí hay không.

Rò rỉ ngoài và rò rỉ trong

    Rò rỉ ngoài thường được đề cập đến là rò rỉ từ bên ngoài vào bên trong khoang chân không, trong khi rò rỉ trong là rò rỉ xảy ra giữa các khoang chân không đáng lẽ phải được cách ly. Khả năng phát hiện rò rỉ trong thường yêu cầu dự đoán trước bằng phương pháp giữ áp phân đoạn, sau đó tháo rời phần đáng ngờ để tiến hành kiểm tra rò rỉ. Rò rỉ động là hiện tượng rò rỉ có thể xảy ra tại các điểm kín khí của các bộ phận di chuyển trong hệ thống chân không khi chúng đang di chuyển, thường cần mô phỏng trạng thái chuyển động để phát hiện khi kiểm tra rò rỉ.

    Kiểm tra rò rỉ của hệ thống chân không là một khía cạnh quan trọng để đảm bảo hoạt động bình thường của hệ thống, cần phải sử dụng nhiều phương pháp để đánh giá tổng hợp và thực hiện các biện pháp phòng ngừa và sửa chữa thích hợp. Khi tiến hành phân tích đường cong giảm áp, điều quan trọng là phải đảm bảo điều kiện thử nghiệm nhất quán để dễ dàng so sánh dữ liệu tại các thời điểm khác nhau.