Trong sản xuất bán dẫn, các sản phẩm điều khiển chân không đóng vai trò quan trọng trong từng bước công nghệ, đảm bảo việc điều khiển chính xác các điều kiện chân không cần thiết cho việc sản xuất các thiết bị điện tử. Trong quá trình tạo tinh thể, dãy máy đo chân không dung hỏa có thể điều khiển áp suất công nghệ bên trong buồng tạo tinh thể, từ đó đạt được việc tạo tinh thể silic không lỗi. Sự điều khiển chính xác áp suất này rất quan trọng để đạt được tối ưu hóa việc tạo tinh thể, góp phần nâng cao chất lượng và độ tinh khiết của vật liệu bán dẫn.

Oxi hóa / chất kết cấu cổng và ion hóa

    Dãy máy đo chân không dung hỏa giám sát áp suất công nghệ, trong khi máy đo chân không Pilani và máy đo chân không âm điện lạnh cung cấp việc điều khiển áp suất trong phạm vi hệ thống. Sự điều chỉnh tinh vi này rất quan trọng để đạt được các đặc tính vật liệu lý tưởng và độ chính xác tẩy, những đặc tính này rất quan trọng đối với hiệu suất của thiết bị bán dẫn.

Quang mạch

    Trong quá trình quang mạch, bao gồm máy đo chân không dung hỏa và máy đo chân không Pilani, cũng như máy đo ion nhiệt và máy đo âm điện lạnh, đảm bảo việc điều khiển chính xác áp suất trong hệ thống công nghệ. Các thành phần chân không đảm bảo các kết nối không rò rỉ, góp phần vào sự ổn định và độ chính xác của quá trình quang mạch.

Etch (Khắc mạch)

    Trong quá trình etch, máy đo chân không dung hỏa điều chỉnh áp suất công nghệ để thực hiện việc loại bỏ vật liệu một cách chính xác. Thông qua sự kết hợp của máy đo chân không dung hỏa, máy đo Pilani, máy đo ion nhiệt và máy đo âm điện lạnh, đã đạt được việc điều khiển áp suất trong phạm vi hệ thống, đảm bảo tính nhất quán của quá trình etch và khả năng lặp lại cao của quá trình công nghệ. Ngoài ra, hệ thống phân tích khí quang học được sử dụng để giám sát thành phần khí được sử dụng trong quá trình etch. Điều này giúp đảm bảo sự ổn định của quá trình công nghệ và thực hiện việc loại bỏ vật liệu một cách chính xác.

    Trong các quá trình như CVD, PVD, ALD, EPI và RTP, việc giám sát áp suất công nghệ, trong khi máy đo ion nhiệt, máy đo âm điện lạnh và các phụ kiện chân không giúp điều khiển áp suất hệ thống ổn định, nâng cao tính đồng đều của quá trình công nghệ và hiệu suất của thiết bị.